全国开设微机电系统工程专业的全国大学有北京航空航天大学、西北工业大学、东莞理工学院、东莞理工学院等，具体2022年最新排行榜见下表。
| 序号 | 学校名称 | 专业名称（类） | 包含专业 | 专业方向 |
| 1 | 北京航空航天大学 | 工科试验班类 | 材料科学与工程、纳米材料与技术、能源与动力工程、飞行器动力工程、飞行器设计与工程、飞行器环境与生命保障工程、飞行器控制与信息工程、智能飞行器技术、飞行器制造工程、飞行器适航技术、飞行器质量与可靠性、无人驾驶航空器系统工程、工程力学、机械工程、材料成型及控制工程、微机电系统工程、工业设计、车辆工程、智能制造工程、机器人工程、生物医学工程、交通运输、土木工程、安全工程、探测制导与控制技术 | 航空H航天类 |
| 2 | 西北工业大学 | 机械类 | 飞行器制造工程、机械设计制造及其自动化、机械电子工程、工业设计、微机电系统工程、工业工程 | 航宇智能制造试验班 |
| 3 | 东莞理工学院 | 机械类 | 机械设计制造及其自动化、材料成型及控制工程、机械电子工程、工业设计、微机电系统工程 | |
| 4 | 东莞理工学院 | 微机电系统工程 |
微机电系统工程专业介绍和学习课程
微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子技术和微加工技术，进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如：微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。
学习课程：《微机电工程材料》、《微机电器件与系统》、《微机械学》、《微纳米测量与测试技术》、《微细加工技术》、《现代传感技术》、《精密工程制造基础和光存储技术》
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